Aluminiumnitrid (AIN) ist ein ausgezeichnetes piezoelektrisches Material für 5G-Hochfrequenz-SAW- und BAW-Filter und MEMS-Sensoren. Insbesondere kann die Scandium-dotierte Aluminiumnitrid (ScAIN)-Folie den piezoelektrischen Koeffizienten und damit den elektromechanischen Kopplungskoeffizienten von SAW und BAW erheblich verbessern. Es ist das zentrale piezoelektrische Material einer neuen Generation von 5G RF-Filtern. ScAIN-Dünnschichten werden in der Regel durch reaktives Sputtern von Targets aus einer AL-Sc-Legierung hergestellt.